半導体

バーチャルメトロロジー、ソフトセンサー、装置間の横展開、プロセス推定、半導体製造向けエッジAI。

デモ半導体バーチャルメトロロジー

プラズマエッチングのバーチャルメトロロジー

物理計測の合間のエッチング結果を推定し、装置間でモデルを横展開します。

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